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| スパッタリング装置 |
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| はね上がって設備をめっきします |
このシステムは研究と開発と生産所のために設計して、技術の性能にはね上がるのは長期にわたり信頼できて、それによって沈積する金属の薄い膜と媒質の薄い膜。このシステムはとてもすきがない空間で系統的で標準的な機能にはね上がることを提供しました。直径で100mmの地区が薄い膜の厚さの平均している堆積を行いますのより大きいことができます。コンピュータのタッチパネルは１つの友好的な操作のインターフェースにそれによってインターフェイスのパラメーターのコントロールと製造プロセスのメモリーを提供しました。
使用します：
(1) 堆積の金属の材料
(2) 沈積する媒質の材料
(3) 反応は堆積にはね上がります
(4) 共に堆積にはね上がります |
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