Aegisは独特な新しいプラズマの強める型化学の息の様子の堆積システムで、設計それによってケイ素の基の上で薄い膜の堆積（SiO2、SiNx、SiOxNy、a-SixHy）。このシステムはとてもすきがない空間でプラズマの化学の息に互いに堆積システムに協力する標準的な機能を提供しました。コンピュータのタッチパネルは１つの友好的な操作のインターフェースにそれによってインターフェイスのパラメーターのコントロールと製造プロセスのメモリーを提供しました。このシステムはフリーボードの光度LEDチップの大きいスケール生産の理想的な選択です。

使用します：

（1） 堆積はケイ素に酸化します（SiO2）

（2） 堆積はケイ素を窒化します（SiNx）