一、露出の明かりの源

高圧の水銀の明かりの仕事率の350W；
露出する光源の寸法:10cmX10cm；
光源の波長:NUV(365nmをくわえます、400nm、435nm)；
平均している度(度合): + -5%以内；
電源の供給器: 350W，仕事率の調整を備えて機能を設定します；
光源の位置はモバイルでないに固定します；

二、映像システム

2本の7倍の可変的な倍率のシーン、50X-350X を大きくします
組のCCD映像システム、２つの9"白黒のスクリーン；
軸の光源を備えますと；
定刻に来る間隔の3.5cm-15cmに対して；
シーンの位置は時間通りに左右を行うことができて、全部で上から下まで調整して、 基の席はシリンダーで駆動して、してあちこち移動します；

三、露出は台

を合わせて真空チャックだけを覆います: 5" cの上で式を吸い込みます；
晶円の真空チャック:4"，4"を操作することができて、3"晶円はおよび切れに破れて、備えて定刻に来ることに対して置きます；
全て動いて覆うことを備えて、晶円のレベルの矯正の機能は全て調整して覆うことができて、晶円の真空は力の大きさを吸着します；
露出のモードは式に接触して近いことと式をつなぐ真空があります；
X，Y軸は12mm.を調整しますZ軸は5mmを調整して、調整の性能の2um；
台を合わせてシリンダーで駆動して、前に向かってして動作を合わせて、これから露出の動作をします；

四、ＯＳ
手動の操作のパネル；
全て備えて真空を覆って、晶円の真空、真空の指示を吸着して時間単位の計算器の時間の設定を表します:0.1-999秒；
誤った操作の機能を防止します；

五、エンジンベース

は詰めますによって耐震のエア・クッションがあって、良好に避けて機能に震動することを備えます；
詰めますによって足の席と車輪を調整することがいて、位置付けに便宜を図ります

六、性能

は真空を採取して露出する図形に接触して解析して1に達することができます um以内；
近く式をつないでおよそ5-10umの内で露出することを採取します；