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Wet bench

主体材质:美制PP10mmT制或SUS 304。 工作槽:客制。
电控程式:PACPLCPC
操作介面:触控面版及按钮。
工作照明:上方防酸型照明。
机台底部:有废气排放及漏酸感应器。
门型式:透明PVC两片室外门,以便隔离酸气保护操作者


Spin wash 落地型晶圆清洗机

MOTOR转速:10-6000RPM。
SPIN SPEED Repeatability of + 3 RPM。

固定式喷嘴:1(N2) 。
开盖方式:手动上掀式或自动开盖



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